HT4001 INSTALLATION
6/23/00
Command THC (X-Y)
Manuel d’instructions
3d-3
Figure 3d-1
Connexion des fils de détection du câble électrode et du câble de retour du HT4001
2
3
1
4
5
J5
+
-
THC.74
42
45
A
B
C
D
Ensemble interfaceplasma