INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector - Manuel (Page 5)

Table des matières
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L TE
CHNIQUE
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10
7)
7.3 Gamme de valeurs pour le facteur de calibrage 82
8 Messages d'erreur et d'avertissement 83
8.1 Remarques 83
8.2 Liste des messages d'erreur et d'avertissement 84
9 Travaux de Maintenance 88
9.1 Remarques 88
9.2 INFICON Service 90
9.3 Légende du plan de maintenance 90
9.4 Plan de maintenance 91
9.5 Groupes de maintenances 91
9.5.1 Maintenance après 1500 heures d’opération 92
9.5.2 Maintenance après 4000 heures d’opération 93
9.5.3 Maintenance après 8000 heures d’opération 94
9.5.4 Maintenance après 16000 heures d’opération 95
9.6 Description des travaux de maintenance 96
9.6.1 Ouverture du UL5000 96
9.7 Contrôle et remplacement de la cartouche filtrante 97
9.8 Remplacer le silencieux 99
9.9 Pompe turbomoléculaire TMH 071 100
9.10 Pompe Scroll 100
Annexe 101
Déclaration de conformité 103