INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector - Manuel (Page 36)

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Description et principe de fonctionnement
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NUE
L TE
CHNIQUE
(1
10
7)
Le diagramme de vide suivant montre les principaux composants à l'intérieur du
UL5000:
Fig. 4-1 :Schema Circuit Vide
Pos. Description
1 MS: spectromètre de masse, capteur d'hélium (spectromètre de masse à
secteurs magnétiques 180°)
2 Pompe turbomoléculaire (TMP, sert à générer le vide poussé nécessaire au
spectromètre de masse)
3 V1a … V8 : électrovannes pour la commande des flux de gaz
4 Pompe Scroll (sert à générer le vide primaire pour la TMP et évacue d'autre
part les éprouvettes)
5 Bride d'admission
6 Seconde pompe Booster Turbo Pompe
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V3
V7
p
1
V1b
V1a
V5
p
3
2
4
5
6
3