Modes de service, Mode de vide, 3 modes de service – INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector Manuel d'utilisation
Page 41: 1 mode de vide
Description et principe de fonctionnement
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L TE
CHNIQUE
(1
10
7)
4.3
Modes de service
4.3.1
Mode de vide
Comme déjà indiqué (voir chapitre
), l'éprouvette doit être
évacuée afin que l'hélium aspergé de l'extérieur puisse entrer dans l'éprouvette sous
l'effet de la différence de pression causée par les fuites.
A l'actionnement de la
, les robinets V1a et V1b s'ouvrent et l'éprou-
vette est évacuée par la pompe Scroll. Le robinet V2 est simultanément fermé pour
éviter une augmentation inadmissible de la pression dans la pompe turbomoléculaire
et dans le spectromètre de masse. Lorsque le robinet V2 est fermé, la pompe turbo-
moléculaire fonctionne sans soutien de la pompe Scroll. Etant donné que le spec-
tromètre de masse est déjà évacué, du gaz n'y est plus pompé. C'est pourquoi la
pression p
2
reste constante ou n'augmente que lentement.
Si p. ex. en raison d'une très longue évacuation, la pression P
2
devait cependant
augmenter, l'évacuation sera interrompue pour P
2
> 10 mbar (V1a et V1b fermés) et
V2 sera brièvement ouvert pour rétablir un vide primaire approprié (P
2
< 1 mbar).
Le flux de gaz pendant l'évacuation et pendant les modes de service GROSS, FINE
et ULTRA est représenté dans les diagrammes ci-après.
Les conditions pour l'évacuation décrite sont conservées jusqu'à ce que la pression
d'admission p
1
soit tombée à moins de 15 mbar. Le robinet V2 s'ouvre maintenant.
L'hélium éventuellement présent peut maintenant affluer à contre-courant dans le
spectromètre de masse où il est alors saisi. Ce mode de service s'appelle GROSS;
la limite d'indication inférieure s'élève а 1Ч10
-6
mbar l/s.
Etant donné que la pompe Scroll continue d'évacuer l'éprouvette, la pression
d'admission p
1
continue de tomber. A moins de 2 mbar, le UL5000 commute en
mode FINE, c'est-à-dire que le robinet V4a s'ouvre et le robinet V1b se ferme. Le flux
de gaz parvient maintenant à un niveau intermédiaire dans la pompe turbomolécu-
laire. La sensibilité du système est maintenant plus grande, la limite d'indication
inférieure s'élève а 1Ч10
-10
mbar l/s.
Fig. 4-7 : A gauche : évacuation (pas de mesure), à droite : mode GROSS
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V3
V7
p
1
V1b
V1a
V5
p
3
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2
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