INFICON UL5000 Dry Helium Leak Detector - Manuel (Page 100)

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Travaux de Maintenance
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9.9 Pompe turbomoléculaire TMH 071
La pompe turbomoléculaire doit être maintenue tous les ans ou toutes les 4000
heures de service. Pour plus de détails à ce sujet, voir les instructions d’utilisation de
PFEIFFER PM 800 504 BN/F et PT 0017 BN/B. Nous vous recommandons de
contacter le service INFICON ou encore un partenaire autorisé INFICON pour
l’execution de ces travaux.
9.10 Pompe Scroll
Se conférer au plan de maintenance du chapitre 9.4 pour les intervalles de mainte-
nance des différentes pompes Scroll (IWATA, VARIAN).
La maintenance de la pompe Scroll doit être exclusivement executés par le service
INFICON ou un partenaire autorisé d’INFICON.