INFICON UL1000 Helium leak detector - Manuel (Page 44)

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Description et principe de fonctionnement
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MA
NUE
L TE
CHNIQUE
(1
10
8)
Comme la pompe Scroll continue d’évacuer l’air contenu dans l’éprouvette, la
pression d’admission p
1
continue de chuter.
À moins de 2 mbar, le UL1000 / UL1000 Fab bascule en mode FINE, cela signifie
que la vanne V4a s’ouvre et que la vanne V1b se ferme.
Le flux de gaz parvient maintenant à un niveau intermédiaire dans la pompe turbo-
moléculaire. La sensibilité du système est maintenant plus élevée, la limite d’affi-
chage inférieure s’élève а 1Ч10
-10
mbar l/s.
La partie inférieure de la pompe turbomoléculaire continue d’évacuer l’air contenu
dans l’éprouvette et, après que la pression p
1
ait chuté au-dessous de 0,4 mbar, le
UL1000 / UL1000 Fab bascule en mode ULTRA, cela signifie que les vannes V1a et
V4a se ferment et que la vanne V4b s’ouvre.
L’admission de gaz dans la pompe turbomoléculaire se déroule maintenant plus
haut. La capacité d’aspiration au niveau de l’admission s’élève maintenant à 2,5 l/s
et la limite de détection s’élève а 5Ч10
-12
mbar l/s.
Remarque: Un réglage spécial du UL1000 / UL1000 Fab empêche la commutation
automatique de la plage de mesure décrite plus haut. En cas de sélection du
mode FINE only (v. chapitre
6.3 Mode de fonctionnement ), le détecteur de fuites
reste toujours en mode FINE Fig. 4-7 (à gauche), indépendamment de la
pression d’admission. La vanne V1a est alors fermée.
Fig. 4-7 : à gauche : mode FINE, à droite : mode ULTRA
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V6
V7
p
1
V1b
V1a
V5
TL
V8
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V6
V7
p
1
V1b
V1a
V5
TL
V8