INFICON UL1000 Helium leak detector - Manuel (Page 37)

Description et principe de fonctionnement
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4.1 Introduction
Les détecteurs UL1000 Fab et UL1000 sont des détecteurs de fuites à hélium dédiés
aux applications sous vide, cela signifie que l’air contenu dans l’éprouvette est
évacuée lors du contrôle. Le vide est généré à l’aide du système de pompage
intégré.
Un autre mode de fonctionnement du UL1000 / UL1000 Fab est le mode renifleur qui
ne peut être utilisé qu’en liaison avec une conduite de reniflage
(v. chapitre 1.4.2 Accessoires et options ).
4.2 Structure des détecteurs UL1000 et UL1000 Fab
Le UL1000 / UL1000 Fab est une unité autonome installée dans un boîtier métallique
sur roulettes. Ce boîtier abrite le système de vide complet ainsi que les alimentations
électriques correspondantes. La bride d’entrée et l’
Unité de commande se trouvent
sur le haut du détecteur de fuites.
4.2.1 Système de vide
Le spectromètre de masse se compose principalement d’une source d’ions, d’un
dispositif de séparation magnétique et d’un collecteur d’ions.
Les molécules de gaz qui parviennent dans le spectromètre de masse sont ionisées
par la source d’ions. Ces particules à charge positive sont accélérées sur une trajec-
toire circulaire dans le champ magnétique.
Le rayon de cette trajectoire circulaire dépend du rapport entre la masse et la charge
électrique des ions.
Seuls les ions d’hélium sont en mesure de franchir ce filtre et d’atteindre ainsi le coll-
ecteur d’ions où ce flux est saisi sous forme de courant électrique.
Le fonctionnement du spectromètre de masse requiert une pression de vide de
l’ordre de < 1×10
-4
mbar ou moins.
Cette pression est générée par la pompe turbomoléculaire, elle-même assistée par
une pompe Scroll.
Le diagramme de vide suivant montre les principaux composants à l’intérieur du
UL1000 / UL1000 Fab :