INFICON UL1000 Helium leak detector - Manuel (Page 6)

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Table des matières
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CHNIQUE
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10
8)
7.2.2 Calibrage externe 89
7.3 Plage de valeurs pour le facteur de calibrage 92
8 Messages d’erreur et avertissements 93
8.1 Remarques 93
8.2 Liste des messages d’erreur et avertissements 94
9 Travaux de maintenance 99
9.1 Remarques générales 99
9.2 Maintenance ou SAV chez INFICON 100
9.3 Légende du plan de maintenance 100
9.4 Plan de maintenance 101
9.5 Groupes de maintenance 102
9.5.1 Maintenance après 1 500 heures 102
9.5.2 Maintenance après 4 000 heures 103
9.5.3 Maintenance après 8 000 heures 104
9.5.4 Maintenance après 16 000 heures 105
9.5.5 Remarques à propos de la maintenance de la TMH 071 105
9.6 Description des travaux de maintenance 106
9.6.1 Ouverture de l’appareil à des fins de maintenance 106
9.7 Contrôle et remplacement de la cartouche filtrante 107
9.8 Remplacement du silencieux de l’échappement 109
9.9 Contrôle / vidage du filtre d’échappement 110
9.9.1 Remplacement de la cartouche filtrante 110
9.10 Surveillance, appoint du niveau d’huile
de la pompe D16 B 112
9.11 Vidange de la pompe D16 B 114
9.12 Pompe turbomoléculaire TMH 071 115
9.13 Pompes Scroll (uniquement UL1000 Fab) 115
A TPR265 (P1, P2) 116
B Déclaration de conformité 117
C Index 118