INFICON UL1000 Helium leak detector - Manuel (Page 43)

Description et principe de fonctionnement
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(1
10
8)
4.3 Modes de fonctionnement
4.3.1 Mode de vide
Comme évoqué plus haut (v. chapitre 4.2.1 Système de vide ), l’air contenu dans
l’éprouvette doit être évacué afin que l’hélium éventuellement pulvérisé par
l’extérieur puisse, le cas échéant, pénétrer dans l’éprouvette à travers les fuites sous
l’effet de la différence de pression.
En cas d’actionnement de la Touche START , les vannes V1a et V1b s’ouvrent et le
contenu de l’éprouvette est pompé par la pompe à prévide (UL1000) ou la pompe
Scroll (UL1000 Fab). Simultanément, la vanne V2 est fermée afin d’empêcher une
augmentation inadmissible de la pression dans la turbopumpe et dans le spec-
tromètre de masse.
Lorsque la vanne V2 est fermée, la turbopumpe fonctionne sans l’assistance de la
pompe Scroll. Comme l’air contenu dans le spectromètre de masse a déjà été
évacué, aucun gaz n’y est plus pompé. La pression p
2
reste donc constante ou
n’augmente que lentement.
Si la pression P
2
devait tout de même augmenter, par ex. en raison d’un pompage
prolongé, l’évacuation d’air serait interrompue dès que P
2
> 10 mbar (V1a et V1b
fermées) et la vanne V2 s’ouvrirait brièvement afin de rétablir un prévide adéquat
(P
2
< 1 mbar).
Les diagrammes suivants représentent le flux de gaz durant l’évacuation et les
modes de fonctionnement GROSS, FINE et ULTRA.
Les conditions pour l’évacuation décrite sont conservées jusqu’à ce que la pression
d’admission p
1
chute au-dessous de 15 mbar. La vanne V2 s’ouvre maintenant.
Le cas échéant, l’hélium présent peut maintenant affluer à contre-courant dans le
spectromètre de masse où il est alors détecté.
Le mode de fonctionnement s’appelle GROSS ; la limite d’affichage inférieure
s’élève а 1Ч10
-6
mbar l/s.
Fig. 4-6 : à gauche : évacuation d’air (aucune mesure), à droite : mode GROSS
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V6
V7
p
1
V1b
V1a
V5
TL
V8
V5
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V6
V7
p
1
V1b
V1a
V5
TL
V8
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