INFICON UL1000 Helium leak detector - Manuel (Page 101)

Travaux de maintenance
101
iina
70
f 0
9
.f
m
MA
NUE
L TE
CHNIQUE
(1
10
8)
9.4 Plan de maintenance
• Niveau de service I Client
• Niveau de service II Client avec formation technique
• Niveau de service III Technicien SAV autorisé par INFICON
• X Effectuer la maintenance après le nombre d’heures de
service ou la période définis
• X
1
Aucune limitation périodique, uniquement heures de service
• X
2
Effectuer les travaux de maintenance au bout de la période
définie
• 1 Dépend de l’environnement et de l’utilisation
• 2 Dépend du procédé
Sous-groupe Travaux de maintenance Heures de service / années Niveau de
service
N° pièce
UL1000 / UL1000 Fab 1500 4000 8000 16000 de rechange
1/4 1 2
Système de vide
Pompe à prévide D16 B Contrôler le niveau d’huile, remplacer
le cas échéant
X I et II
Vidanger l’huile 2 X II 20028181
Réparer la pompe à prévide X III
Pompe Scroll IWATA Remplacer la tête Scroll X III 200000021R
ISP 500
Pompe Scroll Varian Remplacer le Tip Seal X
1
III 200001671
TS 620 Remplacer la tête Scroll X III 200001665R
TMH 071 Remplacer la réserve de lubrifiant X
2
II et III 200000577
Remplacer les paliers X
2
III
Bloc de vannes Nettoyer vannes, remplacer les joints
des vannes 2 X III 200000594
Démonter et nettoyer le bloc de vannes 2 X III 200000593
Remplacer la conduite de gaz de
rinçage 1 X
1
I, II , III 200000683
Ajuster le Pirani X III
Silencieux UL1000 Fab Remplacer X
1
I, II, III 20099183
Filtre d’échappement
UL1000 Contrôler, vider X I, II, III
Remplacer la cartouche filtrante X
1
I, II, III 200000694
Équipement
électrique
Sous-groupes des
ventilateurs Nettoyer par soufflage les ventilateurs
sur la paroi/au fond du châssis 1 X
1
I
Remplacer la cellule du filtre de
rechange pour le ventilateur de la paroi
du châssis 1 X
1
I 200000685