Burkert Type 8715 - Manuel (Page 8)

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Descriptiondusystème
Type 8700, 8701, 8703, 8705
5.1.2. fonctionnement général du mfc,
mass flow controller
Le MFC se compose :
• d’un capteur mesurant le débit massique,
• d’une électronique de régulation,
• d’un élément de régulation : électrovanne proportionnelle
fonctionnant sans frottement et ayant une sensibilité de
fonctionnement élevée.
5.2. fonctionnement du capteur d'un
mfm ou d'un mfc
• Les capteurs de débit intégrés fonctionnent selon le procédé
de mesure thermique (anémométrique ou calorimétrique) pour
mesurer le débit massique. Les principaux composants sont une
résistance chauffante et une sonde de température. Le gaz qui
passe par l’appareil modifie la différence de température mesurée
entre les deux résistances.
• Le principe de mesure thermique permet au MFC de réguler le
débit massique exigé de façon totalement indépendante des
variations de pression et de température dans l’application
concernée.
Pour obtenir un signal de sortie de la valeur effective,
dynamique ou uniforme, il est possible de modifier
l'amortissement du signal de sortie à l'aide du logiciel "Mass
Flow Communicator" (voir chap. 10.1.3).
Sur les MFC types 8710, 8711, 8713, 8715, la technologie
du capteur intégré nécessite, en présence de fluides
encrassés, la mise en place de filtres en amont du produit.
5.3. fonctionnement détaillé d'un
mfc
w
x
out
y
x
x
d
= w-x
Électronique de
régulation
Capteur Élément de régulation
(électrovanne)
Entrée
fluide Sortie
fluide
Fig. 1 : Principe de fonctionnement du Mass Flow Controller
L’électronique de régulation compare le débit massique (x) mesuré
par le capteur de débit intégré à la valeur de consigne (w) du débit
massique transmise au MFC. L’électronique de régulation calcule alors
la grandeur de réglage (y) à transmettre à l’électrovanne pour contrôler
son ouverture. Le débit est soit maintenu à une valeur constante, soit
modifié selon un profil prédéfini.
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